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更新時(shí)間：2026-04-14 
瀏覽次數(shù)：114
軟件功能特點(diǎn)
NanoSpec軟件
用戶友好的操作界面
支持各種Recipe設(shè)定、測量參數(shù)設(shè)定、數(shù)據(jù)管理
可選功能擴(kuò)展： sheet resistance測量、接觸角測量、段差測量
膜厚分布顯示
從測量數(shù)據(jù)生成膜厚分布圖
面內(nèi)狀態(tài)可視化，膜厚差異以色階顯示
3D Mapping
從測量數(shù)據(jù)創(chuàng)建3D立體圖像
支持360度旋轉(zhuǎn)查看
可確認(rèn)任意點(diǎn)的高度信息
Toho-Tec定制服務(wù)
全流程自主制造：從設(shè)計(jì)到制造、電氣設(shè)計(jì)、CIM通信設(shè)計(jì)均在自社完成
靈活定制：可根據(jù)客戶需求進(jìn)行硬件和軟件定制
專業(yè)應(yīng)用支持：經(jīng)驗(yàn)豐富的應(yīng)用工程師提供高精度Recipe作成和驗(yàn)證服務(wù)
應(yīng)用領(lǐng)域
FPD/LCD生產(chǎn)線：TFT-LCD、OLED的各層薄膜厚度監(jiān)控
半導(dǎo)體制造：鈍化膜、柵極絕緣膜測量
LED制造：外延層厚度控制
太陽能電池：透明導(dǎo)電膜、減反射膜測量
材料研究：光學(xué)常數(shù)測定、新材料特性評(píng)估
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