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更新時(shí)間：2026-04-13 
瀏覽次數(shù)：122產(chǎn)品概述
TohoSpec3100系列是Nanometrics（現(xiàn)Onto Innovation）NanoSpec3000系列的正式后繼機(jī)，2014年起由東朋科技承接技術(shù)轉(zhuǎn)移并開始制造銷售 。該系列是業(yè)界標(biāo)準(zhǔn)的高精度光干涉式膜厚測(cè)量設(shè)備，在半導(dǎo)體研發(fā)領(lǐng)域擁有長(zhǎng)期信賴和實(shí)績(jī)。
兩款型號(hào)對(duì)比
核心特點(diǎn)
1. 高精度測(cè)量性能
采用線性二極管陣列受光元件，實(shí)現(xiàn)高速、高精度測(cè)量
測(cè)量再現(xiàn)精度可達(dá)2?以下（同一點(diǎn)15次測(cè)定）
可同時(shí)測(cè)量最多3層多層膜的膜厚及光學(xué)常數(shù)(n,k)
2. 先進(jìn)的光譜分析軟件
配備多種薄膜測(cè)量算法（最多15種標(biāo)準(zhǔn)算法）
支持Cauchy模型、OJL模型、Tauc-Lorentz模型、擴(kuò)展Drude模型等光學(xué)材料表征模型
可評(píng)估表面粗糙度（EMA模型）和深度方向非均勻性（分級(jí)模型）
3. 靈活的程序設(shè)定
可根據(jù)不同膜特性設(shè)定詳細(xì)參數(shù)，適應(yīng)各類膜結(jié)構(gòu)
支持特殊膜測(cè)量程序的簡(jiǎn)單設(shè)定
兼容舊機(jī)型NanoSpec3000的recipe移植
4. 系統(tǒng)配置
操作系統(tǒng)：Windows 7/10（32位英文版）
計(jì)算機(jī)要求：Core i5以上，支持臺(tái)式機(jī)或筆記本
連接方式：RJ-45以太網(wǎng)接口
數(shù)據(jù)處理：測(cè)定值、統(tǒng)計(jì)值（平均值、σ、3σ）、直方圖、5點(diǎn)校正等
主要應(yīng)用領(lǐng)域
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