ulvac-kiko 真空泵低溫泵壓縮機(jī)單元離子濺射儀

ulvac-kiko 真空泵低溫泵壓縮機(jī)單元C15R
CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷凍機(jī)的能夠制造出高真空的低溫泵系列。根據(jù)FPD、半導(dǎo)體、電子機(jī)器、光學(xué)、研究開發(fā)等應(yīng)用領(lǐng)域的不同，從小型到大型有廣泛的產(chǎn)品陣容供您選擇。

產(chǎn)品型號：C15R
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時間：2023-04-11
訪問量：921

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ulvac-kiko 真空泵低溫泵壓縮機(jī)單元C15R

CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷凍機(jī)的能夠制造出高真空的低溫泵系列。根據(jù)FPD、半導(dǎo)體、電子機(jī)器、光學(xué)、研究開發(fā)等應(yīng)用領(lǐng)域的不同，從小型到大型有廣泛的產(chǎn)品陣容供您選擇。

特點

輕量?緊湊、標(biāo)準(zhǔn)尺寸最小的泵
適用于實驗室和研究室的小型真空設(shè)備。
可以多臺運行（最多3臺）
可以達(dá)到超高真空（10^-8Pa以下）

膜片泵通過橡膠膜片的往復(fù)運動來形成真空。
泵體結(jié)構(gòu)采用無油環(huán)境設(shè)計、因此維護(hù)簡單。
根據(jù)您對壓力和腔體的要求可以選擇各種不同的泵速和雙段/單段設(shè)計。

特點

價格低廉，銷售量多的標(biāo)準(zhǔn)型干式真空泵。
氣體接觸區(qū)域不使用油的干式真空泵。
豐富的產(chǎn)品陣容可滿足不同的應(yīng)用需求。
單級排氣系統(tǒng)比兩級排氣系統(tǒng)更快。
具有鎖定保護(hù)和過流保護(hù)功能等安全設(shè)計。
大氣壓下可以運作。

用途

真空吸盤，晶圓和處理設(shè)備。
真空鑷子，醫(yī)療器械。
印刷設(shè)備。
自動包裝機(jī)。
光學(xué)器具。
半導(dǎo)體行業(yè)。
注塑機(jī)。

膜片泵通過橡膠膜片的往復(fù)運動來形成真空。
泵體結(jié)構(gòu)采用無油環(huán)境設(shè)計、因此維護(hù)簡單。
根據(jù)您對壓力和腔體的要求可以選擇各種不同的泵速和雙段/單段設(shè)計

特點

價格低廉，銷售量多的標(biāo)準(zhǔn)型干式真空泵。
氣體接觸區(qū)域不使用油的干式真空泵。
豐富的產(chǎn)品陣容可滿足不同的應(yīng)用需求。
兩級排氣系統(tǒng)與單級排氣系統(tǒng)相比具有更低的壓力（良好的真空）。
內(nèi)置自動復(fù)位型熱保護(hù)器等安全設(shè)計。
大氣壓力下可運作。
結(jié)構(gòu)簡單，維護(hù)方便。

Unit	50Hz	60Hz
有效排氣速度	L/min	120	145
極限壓力	Pa (kPa)	3.3×10 ³ （-98.0）
使用電動機(jī)		単相, 100V, 400W, 4P, Capacitor run
全負(fù)荷電流	A	4.8	5.8
重量	kg	26.0
吸?排氣口徑	mm	ODΦ16×IDΦ12 (G 1/2)
使用環(huán)境溫度范圍	℃	0～40
最大尺寸	mm	193.5(W)×411(L)×285(H)

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