texeg 晶圓對(duì)準(zhǔn)器WA系列WA-8A 和WA-12A差異解析

更新時(shí)間：2026-03-23

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產(chǎn)品概述

Texeg（TEX E.G.）是一家日本半導(dǎo)體設(shè)備制造商，成立于1987年，總部位于東京。公司專注于半導(dǎo)體制造設(shè)備、溫度控制技術(shù)和搬運(yùn)系統(tǒng)的研發(fā)與生產(chǎn) 。

WA 系列預(yù)對(duì)準(zhǔn)單元（Pre-Alignment Unit）是用于硅晶圓搬運(yùn)過程中的"芯出し與位置決め"（定心與定位）設(shè)備，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)線中。

| 型號(hào) | 支持晶圓尺寸 | 主要應(yīng)用 |

| ---------- | ---------- | -------- |

| WA-8A | 4、5、6、8 英寸 | 中小型晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn) |

| WA-12A | 8、12 英寸 | 大尺寸晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn) |

預(yù)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的工作流程包括：

| 項(xiàng)目 | 規(guī)格 |

| ----- | --------------------

| 適用晶圓 | 硅晶圓（Silicon Wafers）

| 傳感器類型 | CMOS 傳感器

| 定心精度 | ±0.05 mm

| 檢測(cè)方式 | 邊緣檢測(cè)（Edge Detection）

公司背景

Texeg 在預(yù)對(duì)準(zhǔn)領(lǐng)域擁有悠久歷史：

1989年：開始開發(fā)并銷售 Orientation Flat Aligner（定向平邊對(duì)準(zhǔn)器）

2001年：開始銷售 12 英寸定向平邊對(duì)準(zhǔn)器

2011年：開始銷售支持翹曲晶圓的定向平邊對(duì)準(zhǔn)器

2012年：推出 U 系列定向平邊對(duì)準(zhǔn)器

應(yīng)用領(lǐng)域

WA 系列預(yù)對(duì)準(zhǔn)單元主要應(yīng)用于：

半導(dǎo)體晶圓搬運(yùn)系統(tǒng)

光刻機(jī)配套設(shè)備

晶圓檢測(cè)設(shè)備前端

其他需要高精度晶圓定位的自動(dòng)化設(shè)備

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