Technomate 高壓泵FSBL-50 半導體清洗中一把手

更新時間：2026-01-26

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Technomate FSBL-50 是一款空氣驅(qū)動、柱塞式高壓液體泵，專為“高純、防爆、小流量高揚程"場景設計。綜合現(xiàn)有資料，它在半導體行業(yè)的定位可以概括為“IPA 干燥與溶劑剝離環(huán)節(jié)的‘穩(wěn)壓心臟’"，典型應用如下：

Spin-Rinse-Dry（SRD）后的 IPA 干燥

壓力 0.8–1.2 MPa、流量 5–15 L/min 可調(diào)，可將 0.2 µm 過濾后的 IPA 霧化至 15 µm 液滴，配合 Marangoni 效應 5 s 內(nèi)去除晶圓表面水膜，干燥后粗糙度 Ra < 0.3 ?，滿足 EUV 掩膜基板要求。
空氣驅(qū)動無電火花，可直接放在 Class 1000 以內(nèi)潔凈區(qū)及 Zone-2 防爆隔間，解決 IPA 易燃痛點

光刻膠剝離（Strip）與溶劑輸送

泵頭 316L + PTFE/PFA 內(nèi)襯，顆粒析出 < 1 ea/mL，可連續(xù)輸送 90 °C NMP、PGMEA 或羥胺類 OPA，金屬離子增量 < 5×101? at/cm2。
0.8–1.2 MPa 出口壓力足以推動溶劑通過 0.08 mm 噴嘴，形成 120 m/s 射流，30 s 內(nèi)剝離 3 µm 厚負膠，線寬損失 < 0.5 nm

CMP 后清洗與點-of-use 化學品增壓

在 7 nm 以下節(jié)點，F(xiàn)SBL-50 作為“point-of-use"增壓單元，把 0.5 MPa 管網(wǎng) DIW 升至 1.0 MPa，供背面刷洗或二流體噴嘴使用，占地僅 220×350×350 mm，可嵌入單體清洗腔

設備尾氣洗滌（Scrubber）

同樣利用空氣驅(qū)動防爆優(yōu)勢，將 1.0 MPa 純水注入洗滌塔，吸收 HF、Cl?、SiH? 等副產(chǎn)氣體；耗氣量 70 NL/min，一條 0.7 MPa CDA 主管可帶 20 臺泵，能耗僅為同級電動泵 1/8

技術亮點

落地案例

一句話總結(jié)：FSBL-50 用“氣動防爆 + 高純材質(zhì) + 穩(wěn)壓低脈動"三件套，把 IPA 干燥與溶劑剝離做成了一件“無火花、零顆粒、可嵌入"的標準化模塊，是 7 nm 以下晶圓廠清洗線上超出性價比的 1 MPa 級高壓動力源。

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