spp住友潔凈臭氧發(fā)生器 FPD GRC系列 GRC-RXA / GRC-RG

更新時間：2023-12-21

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產(chǎn)品介紹

潔凈臭氧發(fā)生器

住友的臭氧發(fā)生器采用板放電方式，利用電能將部分原料氣體轉(zhuǎn)化為臭氧。
采用高純度陶瓷放電表面來產(chǎn)生清潔的臭氧氣體，最大限度地減少顆粒和金屬污染的產(chǎn)生。作為排放方式，我們實現(xiàn)了業(yè)界領(lǐng)的先的臭氧濃度400g/m ^{3 (N)。}
此外，我們還使用我們獨的特的技術(shù)來處理無氮臭氧發(fā)生器，以防止金屬污染。
被眾多客戶在半導體、液晶等制造過程中的干法和濕法工藝中使用，并獲得了好評。

應用領(lǐng)域

半導體
各種晶圓
FPD（LTPS、HTPS、TFT、彩色濾光片、OLED）
光罩
引的領(lǐng)
其他電子器件材料的干法和濕法工藝

GRC系列這是一個標準系列，最大濃度為400g/m 3 (N)。
規(guī)格
臭氧流量1L/min～24L/min
[210g/m 3 (N)]
臭氧供給壓力最大0.2MPa
冷卻水溫度20℃±2℃
氮添加率氧氣流量的0.1%
外形尺寸寬483毫米×深453毫米×高266毫米
重量30～45公斤
電源AC200V 3相
特征
產(chǎn)生400g/m 3 (N)的高濃度臭氧
可安裝在19英寸機架上的單元類型
從小流量到大流量的豐富產(chǎn)品陣容
高可靠性放電電池，耐壓高，壽命長
快速上升和出色的濃度響應
通過連接臭氧濃度計（反饋控制）實現(xiàn)優(yōu)異的濃度穩(wěn)定性
CE/NRTL認證，符合SEMI標準
燃氣管道可選用氟樹脂和SUS鋼。


 

規(guī)格
臭氧流量	1L/min～24L/min [210g/m ³ (N)]
臭氧供給壓力	最大0.2MPa
冷卻水溫度	20℃±2℃
氮添加率	氧氣流量的0.1%
外形尺寸	寬483毫米×深453毫米×高266毫米
重量	30～45公斤
電源	AC200V 3相

特征
產(chǎn)生400g/m ³ (N)的高濃度臭氧
可安裝在19英寸機架上的單元類型
從小流量到大流量的豐富產(chǎn)品陣容
高可靠性放電電池，耐壓高，壽命長
快速上升和出色的濃度響應
通過連接臭氧濃度計（反饋控制）實現(xiàn)優(yōu)異的濃度穩(wěn)定性
CE/NRTL認證，符合SEMI標準
燃氣管道可選用氟樹脂和SUS鋼。

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GRC系列

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